AeroBar 5635 MP
La barre d'ionisation à impulsion modulée 5635 de Simco-Ion est spécialement conçue pour éliminer les charges électrostatiques dans les semiconducteurs et autres processus de fabrication ultra-propres, où des temps de décharge rapides, des tensions basses et un équilibre précis sont essentiels. Cette technologie innovante utilise une onde sinusoïdale haute fréquence combinée à des impulsions modulées pour un débit ionique élevé. Grâce à cette avancée, l'AeroBar peut être installé à moins de 150 mm de la wafer.
- Propreté prolongée conforme à la classe ISO 1 (particules de 10 nm)
- Technologie d'impulsions modulées
- Excellente uniformité latérale
- Faibles tensions de champ
- Capacité d'assistance à l'air
- Logiciel optionnel avec interface conviviale et large ajustabilité
- Signal de sortie d'alarme