AeroBar Ionizing System 5225

La barre d'ionisation 5225 de Simco-Ion, avec contrôle logiciel, est idéale pour répondre aux exigences élevées de l'ionisation des outils de process. Grâce à son rendement ionique élevé, elle neutralise rapidement les charges électriques sur les wafers, garantissant ainsi une conformité E78 aux normes les plus strictes.

Intégration complète avec le système de contrôle de l'outil
Paramètres entièrement ajustables pour chaque AeroBar
Surveillance du courant ionique
Plusieurs longueurs disponibles, dont 3 spécialement conçues pour les EFEMs
Points d'émetteur en silicium monocristallin